苏州纳迪微电子有限公司

氧化铝抛光液

针对目前蓝宝石晶体片加工常见的速度慢、效率低问题，苏州纳迪微电子有限公司新近开发了各种以α氧化铝（刚玉）为核心成分的高效蓝宝石抛光液。按照平均颗粒大小的不同，我们的抛光液分为#300、#500、#800等几种型号，比传统的氧化硅溶胶类抛光液具有更快的抛光速率，同时可以在更低的浓度下、更长时间地使用。本抛光液可直接用于蓝宝石片的碳化硼研磨后的抛光，即：它可取代普通的钻石液铜盘研磨过程，最适用于快速高效且低成本的蓝宝石表面的精密加工。

α氧化铝具有比氧化硅更高的硬度、更好的化学稳定性等特点，传统上是一常用的研磨抛光材料，但由于该材料，特别的，在纳米化时候容易团聚，α氧化铝抛光液给人们留下容易使表面产生划伤、划痕的印象，而长时间在蓝宝石晶体加工领域被慎重对待。我们通过精细的质量控制，成功解决了α氧化铝抛光液容易产生划痕等问题，在正常情况下，本抛光液可以实现Ra≤4A的粗糙度而无明显的划痕等缺陷,它可以作为最终的抛光液使用，亦可与传统的氧化硅溶胶相配合，作为快速粗抛光液使用。

蓝宝石抛光液使用注意事项：
·建议使用浓度：5~10%，即：以纯水稀释3-6倍后使用。
·如果需要循环使用，请注意抛光液的流量。以9B的双面抛光机为例：抛光液参考流量为150ml/min，抛光液流速过高或过低的都会降低抛光效率。在循环过程中，pH会降低，请用KOH维系pH至原始值。
·建议使用Suba-600或Suba-800的抛光垫，抛光压力在4psi或以上。
·如果有明显的沉降分层，请摇晃均匀后使用。在使用过程中，请将抛光液搅拌或流动。
·硅溶胶抛光液在温度或pH浮动时容易凝胶，与之不同，氧化铝抛光液可以在更高的温度，更高的pH等条件下抛光蓝宝石片，并且具有更高的抛光速率。