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氧化铝抛光液

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更新日期2019-06-18 11:47

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氧化铝抛光液

针对目前蓝宝石晶体片加工常见的速度慢、效率低问题,苏州纳迪微电子有限公司新近开发了各种以α氧化铝(刚玉)为核心成分的高效蓝宝石抛光液。按照平均颗粒大小的不同,我们的抛光液分为#300、#500、#800等几种型号,比传统的氧化硅溶胶类抛光液具有更快的抛光速率,同时可以在更低的浓度下、更长时间地使用。本抛光液可直接用于蓝宝石片的碳化硼研磨后的抛光,即:它可取代普通的钻石液铜盘研磨过程,最适用于快速高效且低成本的蓝宝石表面的精密加工。

α氧化铝具有比氧化硅更高的硬度、更好的化学稳定性等特点,传统上是一常用的研磨抛光材料,但由于该材料,特别的,在纳米化时候容易团聚,α氧化铝抛光液给人们留下容易使表面产生划伤、划痕的印象,而长时间在蓝宝石晶体加工领域被慎重对待。我们通过精细的质量控制,成功解决了α氧化铝抛光液容易产生划痕等问题,在正常情况下,本抛光液可以实现Ra≤4A的粗糙度而无明显的划痕等缺陷,它可以作为最终的抛光液使用,亦可与传统的氧化硅溶胶相配合,作为快速粗抛光液使用。

蓝宝石抛光液使用注意事项:
·建议使用浓度:5~10%,即:以纯水稀释3-6倍后使用。
·如果需要循环使用,请注意抛光液的流量。以9B的双面抛光机为例:抛光液参考流量为150ml/min,抛光液流速过高或过低的都会降低抛光效率。在循环过程中,pH会降低,请用KOH维系pH至原始值。
·建议使用Suba-600或Suba-800的抛光垫,抛光压力在4psi或以上。
·如果有明显的沉降分层,请摇晃均匀后使用。在使用过程中,请将抛光液搅拌或流动。
·硅溶胶抛光液在温度或pH浮动时容易凝胶,与之不同,氧化铝抛光液可以在更高的温度,更高的pH等条件下抛光蓝宝石片,并且具有更高的抛光速率。
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